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    SEMOZON AX8575臭氧發生器系統性能圖

    來源:www.biggsfuneralswilliamston.com 作者:同林臭氧 時間:2022-09-06 11:05

    SEMOZON AX8575臭氧發生器系統性能圖

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    臭氧作為強氧化劑,與其他氧化劑相比具有許多優點。臭氧具有很高的氧化還原電位,可以在使用點產生,它會自然衰變為氧氣(2O3 ? 3O2)。因此,它被認為是一種“綠色”化學品。如果需要,還可以使用催化或熱破壞單元在處理室的輸出處破壞臭氧。這顯著降低了化學處理成本,因為輸出是氧氣且不含臭氧。臭氧在室溫下非常穩定,使其成為大多數應用的理想選擇。典型的臭氧應用包括 ALD、CVD、TEOS/臭氧 CVD、光刻膠剝離、晶片清潔、污染物去除、表面處理和氧化物生長。

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    SEMOZON AX8575 系統可配置多達四 (4) 個獨立通道,以同時支持多個工具或腔室。每個通道都可以與您的特定過程所需的特定濃度和流量相匹配。對于超高濃度工藝,該系統 很多可配置為兩 (2) 個通道,帶有機架內冷卻器,從而保持相同的占地面積。每個通道的臭氧源是經過生產驗證的 SEMOZON AX8407 系列臭氧發生器。它采用了 MKS 獲得的、經過現場驗證的、高濃度、超潔凈的臭氧發生技術。 SEMOZON AX8575 包括獨立運行所需的所有子組件,包括配電、環境臭氧安全監視器和狀態指示燈面板。

    注:各輸出通道的臭氧性能請參考右側SEMOZON AX8575性能圖。


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