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    住友臭氧發生器 SGRP-03JS

    來源:www.biggsfuneralswilliamston.com 作者:同林臭氧 時間:2022-04-19 17:56

    住友臭氧發生器 SGRP-03JS


    住友的臭氧發生器采用平板式放電電池,通過電力將氧氣轉化為臭氧。放電室由高純度陶瓷組成,以防止金屬污染達到極低水平。臭氧濃度超過400g/(n),是市場上的上等產品。在半導體、FDP等電子器件材料的干濕加工過程中受到了眾多客戶的高度重視。

    image.png

    具體信息:

    型號:SGRP-03JS

    臭氧氣體流速:350g/m3(N)

    臭氧氣體供應壓力:15L/min (5L/min x 3Line)

    冷卻水溫度:20°C±2°C

    尺寸:W570mm x D850mm x H1,870mm

    重量:360kg

    功率:200-220VAC, 3-phase


    型號:SGRF-03JA

    臭氧氣體流速:400g/m3(N)

    臭氧氣體供應壓力:20L/min

    冷卻水溫度:5°C

    尺寸:W570mm x D850mm x H1,836mm

    重量:350kg

    功率:200-220VAC, 3-phase


    住友臭氧發生器應用:

    半導體器件

    Si/復合晶圓

    FDP(LTPS、HTPS、TFT、彩色濾光片、OLED)

    光罩

    發光二極管

    20220419181022.jpg

    優勢:

    能夠通過單獨控制向大容量臭氧氣體提供一條管線或多條管線。

    高濃度;高達400g/m3(N)

    產品線豐富;小到大容量。

    高壓;*大0.3Mpa(SGRP系列)

    無氮摻雜(SGRF系列)

    高壓耐受,長壽命放電單元

    快速啟動,快速響應

    與臭氧監測儀(閉環控制)集成的穩定濃度

    CE、NRTL、半標準適用

    管道材料;從316LSS或PFA中選擇


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